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ttv半导体是什么意思
  • 来源:互联网
  • 发布时间:2026-10-01 03:56:35

TTV半导体是“total thickness variation”的缩写或简称,意为半导体的总厚度变化,总厚度偏差。 有一种检测硅片厚度一致性的方法,叫总厚度偏差(TTV),就是指硅片厚度的最大值与最小值之差。为了满足大尺寸硅片制备和背面减薄加工的需要,获得具有较好TTV值的面型精度。1988年日本学者Matsui提出了硅片旋转磨削(in-feedgrinding)方法。

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